聚焦離子束（FIB）
型號及主要參數：
廠家：FEI（美國）
型號：FEI-Scios 2 Hivac
主要參數：
離子束分辨小于3nm@30KV
電子束分辨率：workspace<1nm@15KV，workspace<1.6nm@15KV
樣品XY方向移動范圍不低于110nm，Z方向不低于60 nm，可繞Z軸旋轉任（360°）
意角度傾斜角度T范圍不小于-15到90°
用途及功能：
掃描電鏡主要用于觀察、分析、記錄樣品的微觀形貌，
聚焦離子束用于樣品微納米尺度下的切割、表面修飾、TEM制樣
刻蝕能譜儀主要用于樣品元素分析
特點：
離子束與電子束雙束，實現聚焦離子束FIB切割與SEM形貌同步觀察
掃描電子顯微鏡（SEM)
型號及主要參數
廠家：ZEISS（德國）
型號：GEMINI 300
主要參數：
分辨率：0.7 nm@15 KV，1.2nm @15 KV
放大倍率：12x-2000000x
加速電壓：0.2-30kV
五軸樣品臺：130 mm (X方向), 130 mm (Y方向), 50 mm (Z方向),-4°-70° (傾斜)，360° (旋轉)
用途及功能：
掃描電鏡主要用于觀察、分析、記錄樣品的微觀形貌，
能譜儀主要用于樣品元素分析
特點：
高分辨表面形貌成像
型號及主要參數
廠家：thermofisher（美國）
型號：ESCALAB Xi+
主要參數：
XPS能量分辨率≤0.43 eV
靈敏度: 大面積XPS, Ag3d5/2(FWHM≤1.0 eV)強度大于106CPS
角分辨ARXPS分析
紫外光電子能譜（UPS）
用途及功能：
用于粉末、薄膜、塊狀等各種有機無機材料的表面幾個原子層（1-10 nm）的化學組成、價態的深度剖析、成像分析及功函數分析與表征。
特點：
高分辨XPS，UPS
X射線衍射儀(XRD)
型號及主要參數
廠家：Bruker（德國）
型號：D8 ADVANCE
主要參數：
X射線光管：Cu靶陶瓷X光管，功率2.2 KW
掃描方式：立式θ/θ測角儀
轉動范圍：-10°-168°，最小步長：0.0001°
能量色散陣列探測器
用途及功能：
物相定性定量分析
微光結構分析（微晶尺寸、微觀應力）
粉末數據結構與結構精修
小角度X射線散射
特點：
整列探測器，可測試小角度XRD
原子力顯微鏡（AFM）
型號及主要參數
廠家：Bruker（德國）
型號：Dimension ICON
主要參數：
XY方向掃描范圍90μm x 90μm，
垂直方向掃描范圍10μm，
樣品尺寸可達直徑210mm，厚度15mm
用途及功能：
表面形貌、粗糙度、相圖測試
力曲線等力學性質測試
電學性質如靜電力顯微鏡（EFM）、開爾文探針力顯微鏡（KPFM）、壓電力顯微鏡（PFM）、導電原子力顯微鏡測試（C-AFM）
特點：
高分辨形貌成像、電學性能測試模塊如EFM、PFM、KPFM、C-AFM
核磁共振譜儀（NMR)
型號及主要參數
廠家：Bruker（德國）
型號：AVANCE NEO 400MHz
主要參數：
射頻頻率范圍：6-440MHz，頻率分辨率≤0.005Hz
靈敏度：1H≥500:1，13C≥220:1，15N≥25:1，31P≥150:1，19F≥500:1
可測C13DEPT，二維譜Cosy、Noesy、HMBC、HSQC
用途及功能：
主要應用于有機化合物分析與性能研究
特點：
Bruker全新譜儀，快速出核磁結果
激光共聚焦拉曼光譜儀（Raman)型號及主要參數
廠家：Renishaw（英國） 型號：InVia Spectrometer 主要參數： 532 nm、785 nm波長激光器，激光光斑小于0.8 μm
拉曼頻移范圍：532 nm包含50cm-1-9000cm-1,785nm包含50 cm-1-4000 cm-1靈敏度：不低于30:1，能觀察到硅的三階峰及四階峰光譜重復性：優于±0.02cm-1，可實現mapping功能
用途及功能：
主要應用于各種物質的分子組成、結構及相對含量分析，實現對物質的鑒別和定性研究
特點：
532 nm，785 nm雙波長激光器，拉曼Mapping成像
聯系方式：
聯系電話: 0512-62316061，18962592662（殷老師）
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