薄膜封裝噴墨打印設備招標公告

儀器設備名稱

薄膜封裝噴墨打印機設備

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研發中心

1.薄膜封裝噴墨打印機設備共通規格

l   產品尺寸規格：

玻璃基板尺寸：200*200mm方形玻璃和8’’硅片兼容;

產品厚度： 0.3mm～1.7mm (單層厚度)

主要厚度為：0.5mm玻璃和0.7mm硅片(單層厚度)

基板材質：有堿、無堿、旭硝子、康寧玻璃或硅片

l   設備組成：

如圖所示，綠色標識部位設備為噴墨打印機設備，本公司將自行采購手套箱，僅需要采購噴墨打印機設備；噴墨打印機設備包括不限于以下單元：噴墨系統、基板承載平臺、噴頭控制系統、噴墨液滴監控系統、基板光學對位系統、噴嘴堵塞自動補償功能、軟體控制系統、基板承載平臺控制單元、UV固化單元等；

l   產品傳送方式：基板將從LL傳送到手套箱內，需人工通過手套箱把基板搬運到噴墨打印機的平臺上；

l   產出良品率≥99.98%（扣除非設備因素）

l   破片率≤0.05%（設備因素造成）

l   稼動率≥99%（連續生產 10000 片）

l   潔凈等級：滿足ISO-3；

l   設備維修時間≤ 2小時（單次維修時間，連續生產1000H 以上無大故障）

l   設備操作模式：手動/自動

l   噪音控制：噪音小于 80 分貝,（距離 1000mm）

l   設備顏色：油油漆部分不能有脫落、污漬；

l   Recipe  數量≥999

l   Recipe  名稱：可使用大于 20 個字符的名稱，包括中文、數字、字母或標點符號；

l   Recipe  制作和編輯：參數登錄前，須確認賬戶和密碼，支持 Recipe 復制功能。

2.噴墨系統

l   噴墨打印頭：壓電式噴頭，需要有2個，一個≥16個噴嘴的測試打印頭，一個≥1024個噴嘴的工業打印頭；打印頭品牌：Dimatix，KM；

l   供墨系統：可自動供墨，供墨的儲存罐≥100ml；具有易更換和易查看液位設計；

l   噴墨系統防堵塞功能：墨水負壓和過濾去除氣泡裝置，墨水purge功能，particle過濾功能；

l   噴射頻率：范圍10KHz內可調;

l   有噴頭脈沖波形調整功能；

l   打印頭與承載臺相對水平度<50μm；

l   可使用的墨水粘度1~30cps；

l   分辨率：工業打印頭STD400dpi~800dpi；測試打印頭STD100dpi

l   工業打印頭擊發壽命：>10億次；

l   Main  axes：X1-head  array，Y-in  scan motion；

l   Nominal  drop volume：10pl，變量±15%；

l   Inkjet  head temp. control：max 55±1°C；

3.基板承載臺規格

l   可承載基板尺寸：200mm*200mm和8英寸硅片；厚度：0.3~1.7mm；

l   承載臺水平度：<50μm；

l   載臺有真空吸附基板功能；

4.電控系統

l   X/Y軸移動精度≤3μm；X/Y軸移動重復性≤1μm；X/Y軸移動速度≥200mm/s：

l   Z軸移動精度≤3μm；Z軸移動重復性≤1μm；Z軸移動速度≥20mm/s：

l   ?角可控范圍0~90°；?角控制精度≤0.1°；

5.光學系統規格

l   有液滴圖像采集光學系統；

l   可監控液滴的速度、體積、垂直度等項目，并有數據輸出和統計功能；

l   液滴噴射過程圖像采集功能；

l   有基板對位光學系統；

l   基板對位：自動對準Mark設定和自動定位識別功能；

l   對位精度：<5μm；

l   打印圖形在線確認功能；

l   打印頭噴嘴是否堵塞OX檢測確認功能；

l   打印頭更換后位置校正功能；

l   對不同的Mask可進行offset設定；

l   對位精度范圍可設置；

l   Camera  位置、亮度、對比度等參數可設定；

l   對位時Retry count可設定；

6.UV固化單元

l   設備有UV固化單元；

l   UV光源：LED光源，壽命>3年以上；

l   波長：395nm；

l   能量可控范圍：20%~100%；

l   搭配的墨水，光積累為1.5J/cm2，轉化率>90%；

7.工藝條件

l   打印頭噴嘴堵塞率<2%；(從調機開始使用同一油墨測試)

l   噴墨打印的產品無凹凸點、無線狀mura、無區域狀mura；(從調機開始使用同一油墨測試)

l   主要噴墨厚度：3~12μm；

l   打印頭距離基板的高度可控；

l   Uniformity(片內和片間差)：<2%@厚度8μm；

l   油墨粗糙度：<2nm@厚度8μm；

l   對位精度：<5μm；

l   打印精度：<5μm；

l   邊緣線性：<50μm；

l   打印頭噴嘴堵塞監控判OX功能，噴嘴堵塞軟體補償功能；

l   備品備件：油墨不少于2L；Dimatix 16噴嘴打印頭20個；

8.控制單元

l   功能包括不限于：噴墨系統、電控移動系統、承載臺控制、液滴觀察系統、打印頭噴嘴堵塞自動補償功能、基板對位、recipe編輯等內容；

l   工業控制級 PC 機

l   Interface連接問題：無條件配合手套箱廠商協調

l   微處理器：≥2.5GHz（ Intel Core  2 Duo）

l   監視器：液晶顯示器（≥15 inch）；

l   輸入設備：鍵盤、觸摸面板、鼠標

l   硬盤數量：3個硬盤(主機內一用一備，再另外備用一塊)

l   電氣控制系統：控制系統須保證在電力供應中斷時，不會造成嚴重系統事故或操作人員受傷

l   備品管控：提供設備免費保修期內必需的備品備件和易損件；

l   顯示界面：各壓力、狀態、基板、recipe、運行狀態、數據記錄、數據保存、異常顯示等內容；顯示；

l   可逆物流傳送；

l   可撈取log數據進行分析；

l   工具管控：提供一套完整的維修和操作的專用工具；

9.安全功能

l   互鎖功能：設備開腔時要有互鎖功能；

l   緊急停止開關：按鈕及排布形狀按照廠商標準

l   暫停開關：當按下暫停開關后，機械動作停止，并且報警

l   安全對策：

l   當裝置運行時，為防止操作員的錯誤操作而裝有inter lock

l   空氣壓力、真空等發生異常時發出警告

l   設備有事故防止或裝置保護的各種異常檢出機構，異常檢出時，蜂鳴器響起，同時在顯示器上表示出異常內容

l   警告標簽：在所有危險位置標記；使用中文或英語；（包括腐蝕性警告標簽，有毒警告標簽，燙傷警告標簽，機械性損傷警告標簽等）

l   EMO(EMS)：每個單元須有一個或以上的 EMO（ EMS）按鈕，當任何一個按鈕被按下，相關設備電源須關閉且由斷路器關閉；

設備技術資料提供：

l   設備廠商需提供設備操作使用手冊、零部件清單、設備總圖、部件裝配圖、電氣接線圖書面資料及電子資料各一套

設備安裝時間：

l   單臺設備安裝調試時間不應超過 10 日

驗收標準：

l   設備調試和驗收應以相關的國際標準和規定及賣方投標文件中提供的技術參數為依據，按照買賣雙方簽字同意的預驗收（ IAT）和最終驗收（ FAT）行業標準。

技術培訓及服務：

l   廠商人員負責從裝機開始直至驗收完畢的技術服務

l   廠商人員負責對現場工程師及技術員進行設備運行、維修、保養等方面的培訓，保證現場工程師和技術員可以獨立完成設備操作、調試、保養，具備在廠商技術人員指導下對設備進行維修的能力

l   裝機后再免費開展（3梯次培訓）

售后服務：

l   設備保修期從設備驗收簽字起整機保修 12 個月

l   保修期內設備非人為原因損壞廠商須負責免費維修

l   保修期內叫修時限12小時到廠（不可抗力除外）

l   現場工程師要求有不少于 3 年的相關工作經驗

l   設備免費保修期滿之后，在設備使用壽命期內，賣方應保證提供廣泛而優惠的技術支持及備件供應

   供應商類型：   分銷商(Distributor)□；   制造商(Manufacturer)□;  兩者都是(Both)□；

公司名稱/簡稱(Name of   Company /Brief Name)：

地址(Address)：

電話

(Tel)

傳真

(Fax)

電子郵件

(E-mail)

產品介紹：產品名稱、產地、產量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of  Origin Turnout)

交貨地點方式                                     幣種                                支付條款

(Delivery Place)                                (Currency)                          (Payment Terms)

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發票信息

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發票類型            □17%增值稅發票(VAT)   □6%增值稅發票(VAT)

(Type of Invoice)   □4%增值稅發票(VAT)     □普通發票(General)

稅號

(Tax Account)

業務聯系人(Contact Person)

業務聯系人英文名稱：(English Name of Contact Person)

性別(Gender)

電話(Tel)

財務聯系人

(Fin Person)

性別

(Gender)

傳真

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