二手8inch wafer切割機招標公告

儀器設備名稱

8inch wafer切割機

購置平臺

研發中心

1.設備名稱及數量

二手8inch wafer切割機一臺

2.設備用途和總體功能要求 

根據需求將8inch硅片進行切割

3.技術規格和要求：

備注：“*”表示設備規格的必要條件，必須達到該規格。

DFD-651 Specifications

切割單元

Cutting Section

X-Axis

切割速度0.1~450mm/S

*切割范圍210mm或8.27inch

切割寬度范圍203.2 mm 或0" to 8"

*切割精度≤3um

Y-axis

補進精度0.0001mm

切割范圍210mm或8.28inch

*位置精度0.003mm

y-axis

最大行程26mm

Z-axis

Z軸最大行程25mm

行程精度0.00025 mm

θ-axis

旋轉角度

Angle 380°

正轉320°，反轉60°

馬達分辨率0.66 s

機械部分

軸承：空氣軸承

電機

直流無刷電機

旋轉速度范圍6000~60000RPM

Utilities Section

電需求

Input Voltage Three-phase,

200VAC±10%

Power Frequency 50-60 Hz

Grounding The Machine Must be

properly grounded

Maximum Power

Consumption 5.2 kVA

壓縮空氣需求

壓力需求0.5~0.6Mpa

過濾裝置 0.0001mm/99.5%

N2需求量

Supply Pressure 0.5 to 0.6 MPa

Connection port Rc (PT) 3/8" female

Maximum Consumption 216 l/min

水需求量

Wheel Coolant:

Pressure 0.3 MPa Water Temperature Room  Temp + 2° C Room Temp + 4°

Connection Port Rc (PT) 3/8" Female

軸冷卻系統

Pressure 0.2 MPa

Connection Port Rc (PT) 3/8" female

Consumption Flow Rate 3 l/min 0.79 GPM

Cleaning Water

Pressure 0.3 MPa

Connection Port Rc (PT) 3/8" Female

Flow Rate Setting Range 1.0 l/min

Water Drainage

排水系統，

Connection Port Duct Hose50 mm

安全規格：

互鎖功能

門/外罩開關、安全插頭、異常檢知傳感器等設有互鎖功能。
 緊急停止開關（按鈕及排布形狀按照廠商標準）。

暫停開關：當按下暫停開關機械動作停止動作，并且報警；當暫停開關被釋放時原機械動作回復；

安全插頭拔下時或者門開關、外罩開關 off（操作時 on），執行緊急停止操作。

安全對策：

1.當裝置運行時，為防止操作員的錯誤操作而裝有 inter lock。

2.冷卻水壓力、冷卻水流量、空氣壓力等發生異常時、發出警告。

設備有事故防止或裝置保護的各種異常檢出機構。異常檢出時，蜂鳴器響起，同時在顯示器上表示出異常內容。

警告標簽：

在所有危險位置標記；

使用中文和英語；

（包括腐蝕性警告標簽，有毒警告標簽，燙傷警告標簽，機械性損傷警告標簽等）。

技術培訓及服務要求：

 1、設備move in后賣方對買方人員進行技術培訓培訓次數不少于2次，每次不少于2H，培訓次數可根據買方實際需求進行增加。

  2、設備最終驗收應以買方規格書為最終依據；

 3、隨設備提供設備的操作說明手冊、維護手冊和服務手冊(可電子版)；

供應商類型：   分銷商(Distributor)□；   制造商(Manufacturer)□;  兩者都是(Both)□；

公司名稱/簡稱(Name of   Company /Brief Name)：

地址(Address)：

電話

(Tel)

傳真

(Fax)

電子郵件

(E-mail)

產品介紹：產品名稱、產地、產量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of  Origin Turnout)

交貨地點方式                                     幣種                                支付條款

(Delivery Place)                                (Currency)                          (Payment Terms)

銀行信息

(Bank Information)

銀行名稱

(Bank Name)

銀行地址

(Bank Address)

賬號

(Account)

會計號碼

(Swift code)

收款單位名稱

(Payee )

發票信息

(Invoice Information)

發票類型            □17%增值稅發票(VAT)   □6%增值稅發票(VAT)

(Type of Invoice)   □4%增值稅發票(VAT)     □普通發票(General)

稅號

(Tax Account)

業務聯系人(Contact Person)

業務聯系人英文名稱：(English Name of Contact Person)

性別(Gender)

電話(Tel)

財務聯系人

(Fin Person)

性別

(Gender)

傳真

(Fax)

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