技術與產品

FS-200

產品介紹


設備參數

腔體

方形:200*200*350,前開門,門上有上下二個觀察窗,材質:SUS304

真空系統

分子泵+機械泵,配旁抽閥. 極限真空可到8.0*10-5Pa.

真空計顯示范圍(1.0*10E5Pa-1.0*10E-5Pa),

機架

30進口鋁型材組裝,輕便,美觀

基片盤

手動控制,可任意角度定位.

可裝1-4塊20*20基片

配四塊掩膜板(掩膜圖形0-8個),

擋板

手動控制,四個基片位置中同時只蒸鍍一個.

蒸發源

金屬蒸發源:二組,共用一個陰極

有機蒸發源:八組

電源

金屬蒸發電源:功率1KW,電壓8V,電流160A,數量:一套

有機蒸發電源:功率:300W,二套,切換使用.

膜厚儀

國產膜厚儀:配二個水冷探頭

  • 產品名稱:FS-200
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