技術與產品

FS-450

產品介紹



設備參數

腔體

方形:450*450*(400-800),前開門,后側移門(接手套箱),材質:SUS304

真空系統

分子泵(Pfeiffer700L/S)+機械泵(10L/S),配旁抽閥. 極限真空可到2.0*10-5Pa.或其它客戶要求泵組

全量程真空計顯示范圍(1.0*10E5Pa-1.0*10E-5Pa),

插板閥:HVA 6英寸/ HVA4英寸

機架

60進口鋁型材組裝,輕便,美觀

基片盤

伺服電機控制,可在0-50轉/分勻速轉動,可任意角度定位.

可裝1-4塊32*32基片

配四塊掩膜板(掩膜圖形0-12個),

擋板

基片擋板為氣缸+磁流體驅動,傳動穩定,密封可靠

蒸發源

蒸發源2-16組:

在腔體底部呈發散形分布,相互間擋板隔開,避免交叉污染

電源

進口TDK-Lambda系列電源.電流加熱模式, 精度0.1A:

數量:客戶要求

功率:600W, 1500W, 3000W

軟件控制

PLC+PC機

真空系統:可在軟件界面自動,手動控制,

蒸鍍過程的各個操作環節,掩膜板更換,樣品架旋轉及定位,電源功率調節等均可在軟件界面進行設定,實現軟件控制, 

供電:380 VAC,50Hz電源輸入。

膜厚儀

腔體內可裝1到多個晶振探頭,靠近樣品架中央有一個中心探頭。膜厚顯示精度0.01 A/S。

顯示集成在電腦控制系統內,性能相當于或優于采用國際知名品牌SQM-242 PCI卡.

顯示采用膜厚顯示儀或集成在PC機內的顯示卡。

手套箱

可選配,手套箱含水氧探頭、氣體循環和再生系統。水氧含量控制在小于1 ppm。

配有EDWARDS旋片式真空泵或其它泵組

手套箱尺寸:2400×750×900mm(長×寬×高)(可定制)

  • 產品名稱:FS-450
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