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OLED照明面板中試線,小試線

產品介紹



在研裝備------OLED照明面板中試線,小試線

中試線:

特點:

1 大面積OLED照明面板制備(300mm*300mm);

2 采用集成化系統,所有操作均在電腦/觸摸屏界面完成

3控制軟件中植入各種誤操作互鎖程序,避免設備誤操作

4全自動程控基片送取及傳遞,全自動控制MASK在線更換;

5采用線性蒸發源蒸發有機材料,均勻性好,效率高

 

主要參數:

1 腔體:方形:2700mm*800mm*850mm,單側多門,材質:SUS304

2 真空:極限真空2.0*10-5Pa. 分子泵+無油干泵

3 基片:尺寸300mm*300mm,真空下在線更換MASK

4 機架:80鋁型材搭建,輕便、美觀

5 蒸發源:線性有機蒸發源+金屬點源

6 膜厚控制:石英晶振膜厚儀,閉合自動控制蒸發速率7 操作系統:PLC+觸摸屏




小試線:

特點:

1 大面積OLED照明面板制備(不大于100mm*100mm);

2 采用集成化系統,所有操作均在電腦/觸摸屏界面完成

3控制軟件中植入各種誤操作互鎖程序,避免設備誤操作

4全自動程控基片送取及傳遞,全自動控制MASK在線更換;

5多腔體聯動,帶有基片進取過渡腔,提高實驗效率;

 

主要參數:

1 腔體:多腔體組合,包含有過渡腔,金屬、有機蒸鍍腔,MASK更換腔,基片進取腔,材質:SUS304

2 真空:極限真空2.0*10-5Pa. 分子泵+機械泵

3 基片:<100mm*100mm,真空下在線更換MASK

4 機架:60鋁型材搭建,輕便、美觀

5 基片過渡腔:可存儲多塊基片;

6 MASK腔:存儲多塊有機,金屬MASK

7 膜厚控制:石英晶振膜厚儀,閉合自動控制蒸發速率8 操作系統:PLC+觸摸屏/電腦





  • 產品名稱:OLED照明面板中試線,小試線
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