技術與產品

管式爐

產品介紹



1200度高溫CVD(管式)爐:
1 爐管直徑:50MM,材料:石英;
2 最高溫度:1200度;控溫精度:±2度;
3 進氣:四路MFC(質量流量計),流量0-200SCCM;
4 抽氣系統:旋片式真空泵,極限真空:6.7*10E-1Pa;
5 氣路均采用精密衛生級不銹鋼制作;
6 機架:工業鋁型材搭建,外觀簡潔,美觀;7 萬向腳輪:可任意移動至任何位置;


1600度高溫CVD(管式)爐:
1 爐管直徑:80MM,材料:氧化鋁陶瓷(剛玉管);
2 最高溫度:1600度;控溫精度:±5度;
3 進氣:四路MFC(質量流量計),流量0-200SCCM;
4 抽氣系統:旋片式真空泵,極限真空:6.7*10E-2Pa;
5 氣路均采用精密衛生級不銹鋼制作;
6 機架:工業鋁型材搭建,外觀簡潔,美觀;7 萬向腳輪:可任意移動至任何位置;

  • 產品名稱:管式爐
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